애플리케이션

반도체 제조 산업은 공정에서 유독성, 부식성, 가연성 가스, 액체 및 다량의 가연성 플라스틱 재료가 사용되기 때문에 미국(FMS) 기관에서 '극고위험' 산업으로 분류합니다. , 먼지가 없는 공간의 밀폐된 작업 환경과 가스 펌프 시스템도 마찬가지입니다. 반도체 웨이퍼 주조공장의 가스 사용자로서 모든 직원은 사용 전 다양한 유해가스의 안전 데이터를 이해하고 가스 누출 시 응급처치 방법을 숙지해야 합니다.

반도체 산업 생산실에는 다수의 초미세 가스 파이프라인이 있으며, 설치 후 정상적인 사용에 들어가기 전에 엄격한 테스트를 거쳐야 합니다. 초미세 가스 파이프라인의 5가지 필수 분석 테스트는 압력/암모니아 누출/먼지 함량/수분 및 산소 분석 감지입니다. 5가지 테스트가 모두 표준을 충족해야 공장을 가동할 수 있으며, 그렇지 않으면 잠재적인 안전 및 경제적 위험이 커질 수 있습니다.

현재 국가 표준 "특수 가스 시스템 엔지니어링을 위한 기술 사양" GB50646-2011 및 "독성 가스 탐지 및 경보 장치에 대한 기술 조건 및 검사 방법" HG23006의 관련 조항에 따라 가스 탐지 장치에 대한 빠른 응답 요구 사항과 결합됩니다. 반도체 공장에서 사용되는 경우 감지 및 경보 응답 시간이 지정됩니다. 배기구나 환경 지점에 독성 가스 감지기와 시스템을 설치해야 합니다. 유독가스 누출이 발생하면 가스 감지 시스템에 의해 감지됩니다. 이 제어 시스템은 가스 누출로 인한 인체 건강에 대한 피해 규모에 따라 전체 가스 공급 시스템의 관련 연동 동작을 결정합니다. 심각한 경우 모든 상류 가스 공급원을 긴급 차단하고 중앙 통제실 및 현장 경보 시스템을 가동합니다. 심지어 공장 전체의 자동 음성 방송 시스템을 가동하여 즉시 대피를 알리고 관련 인력에게 신속한 대피를 요구할 수도 있습니다. 경보 구역에서 대피하십시오. 따라서 엔지니어링 및 기술 담당자가 확립된 표준 운영 절차를 엄격하게 준수하는 한 이러한 모든 안전 장치는 직원이 안전 문제를 겪지 않도록 보장합니다.

반도체 산업의 주요 가스 검지

일산화탄소(CO), 암모니아(NH3), 산소(O2), 염화수소(HCl), 염소(Cl2), 불화수소(HF), 포스핀(PH3), 수소(H2)는 독성이 있고 유해하며 가연성이 있습니다. 폭발성 가스 센서. 이 제품은 반도체 제조 산업의 독성 가스 모니터링 애플리케이션을 위해 설계된 전문가 수준의 센서 제품입니다. 센서는 수명이 길고 안정적이고 지속적으로 모니터링할 수 있어 반도체 제조 산업의 유독가스 모니터링 비용을 크게 절감하고 대규모 설치 및 적용을 실현하며 실용적이고 실행 가능한 안전 생산을 제공할 수 있습니다. 반도체 제조 산업의 유독가스 모니터링을 위한 모니터링 솔루션입니다.

반도체 및 전자 공장에서 흔히 발생하는 유해 가스 유형

반도체 전자공장 건물의 가스감지 및 모니터링 시스템

반도체 및 전자공장의 가공에서는 유해성이 높은 물질, 특히 가연성 가스, 유독가스, 기타 가스의 사용이 날로 증가하고 있습니다. 불가피한 가스 누출 사고가 가끔 발생하며 이는 공장, 직원, 인근 주민 및 환경에 잠재적인 위험을 초래합니다. 전 세계적으로 가스 누출로 인한 연소, 폭발, 질식, 인명 피해 등의 사고는 사람들에게 이 문제의 존재를 끊임없이 상기시키고 있습니다. 가스 감지 및 모니터링 시스템은 가스 누출을 조기에 적시에 감지하고 경고하여 사람들이 예방하고 시정 조치를 취하는 데 더 많은 시간을 할애할 수 있도록 돕기 위해 등장했습니다.

현재 반도체 산업에는 110가지 이상의 특수 가스가 적용되고 있으며 그 중 20~30가지가 일반적으로 사용되며 원자재 수요의 최대 14%를 차지합니다.

반도체 산업의 일반적인 가스 검지 응용 분야:

• 청결유지 : 질소밀폐 및 블로잉(Purge)
• 실리콘 웨이퍼 제조: O2, HCL, H2, Ar
• 산화: O2, DCE
• 도핑: PH3, AsH3, BCl3
• 마이크로그래픽: KrF, ArF, F2
• 에칭: Cl2, SF6, NF3, CF4, HBr, BCl3
• 박막: Ar(물리 기상 증착 PVD), SiH4, N2O, NH3, WF6(화학 기상 증착 CVD)

SIGAS는 반도체 산업을 위한 가스 농도 정량 및 제어 장비와 원스톱 솔루션을 제공할 뿐만 아니라 일산화탄소 CO, 암모니아 NH3, 산소 O2, 염화수소 HCl, 염소 Cl2, 불화수소 HF 등의 독성 및 유해가스 제어 장비를 제공합니다. , 포스핀 PH3, 수소 H2 등 센서, 경보기, 송신기 등을 사용하여 반도체 전공정 생산 공정을 보호합니다.